1、水噴淋法：
水噴淋工藝在大氣污染處理上有著廣泛的應(yīng)用，在噴涂工序中也得到使用，例如水簾柜就是一例，其原理是通過將水噴灑廢氣，將廢氣中的水溶性或大顆粒成分沉降 下來，達到污染物與潔凈氣體分離的目的。其優(yōu)點是水資源易得，同時經(jīng)過過濾、沉淀后可回用，最大限度降低水資源的浪費，水噴淋在處理大顆粒成分上有著相當(dāng) 高的效率，常作為廢氣處理的預(yù)處理。
2.冷凝回收法：
將廢氣直接冷凝或吸附濃縮后冷凝，冷凝液經(jīng)分離回收有價值的有機物。該法用于濃度高、溫度低、風(fēng)量小的廢氣處理。但此法投資大、能耗高、運行費用大，因此無特殊需要，一般不采用此法。  
3.吸收法：
可分為化學(xué)吸收和物理吸收，但“三苯”廢氣化學(xué)活性低，一般不采用化學(xué)吸收。物理吸收是選用具有較小的揮發(fā)性的液體吸收劑，它與被吸收組分有較高的親和 力，吸收飽和后經(jīng)加熱解析冷卻后重新使用。該法用于大氣量、溫度低、濃度低的廢氣。裝置復(fù)雜、投資大，吸收液的選用比較困難，存在二次污染。  
4.直接燃燒法：
利用燃氣或燃油等輔助燃料燃燒放出的熱量將混合氣體加熱到一定溫度（700—800℃），駐留一定的時間，使可燃的有害氣體燃燒。該法工藝簡單、設(shè)備投資少，但能耗大、運行成本高。 
5.催化燃燒法：
將廢氣加熱到200～300℃經(jīng)過催化床燃燒，達到凈化目的。該法能耗低、凈化率高、無二次污染、工藝簡單操作方便。適用于高溫高濃度的有機廢氣治理，不適用于低濃度、大風(fēng)量的有機廢氣治理。